半導体製造における薬液の役割とは？

半導体の製造工程において、薬液はまさに主役級の存在です。半導体製造には様々な工程があり、それぞれに対応した高純度の薬液が必要とされます。特にステラケミファの薬液は、その高純度さで国内外でトップクラスの評価を受けています。半導体の洗浄やエッチングなど、薬液がどのように使われ、なぜ重要なのかを見ていきましょう。

薬液を用いたウェット洗浄装置の仕組みを探る！

ウェット洗浄装置では、薬液を用いてウェハを洗浄します。しかし、ここでのポイントは、一度に使用できる薬液は一種類だけということです。洗浄の際には、まず一つの薬液を用いてウェハを洗浄し、その後に純水で洗い流してから次の薬液槽へと進みます。このように、段階的に進めることで、ウェハの表面を丁寧に洗浄します。

高純度薬液供給用タンクの秘密！

半導体や液晶製造設備では、高純度薬液供給用タンクが非常に重要な役割を果たします。これらのタンクは、ロトモールド成形によって作られており、溶接レスなため漏れの心配がありません。これにより、製造工程がスムーズに進むことを保証しています。

花王の洗浄技術がもたらすものとは？

花王は、ウェハーやガラス基板等の精密洗浄部品用のパーティクル洗浄剤やレジスト剥離剤、さらには半導体CMPの後洗浄やシリコンウェハー研磨後のリンス剤を提案しています。これらの製品は、洗浄工程における効率性と精度を大幅に向上させるものです。

吸収分光分析で薬液濃度を測定！

ウェハ洗浄用の薬液濃度測定には、「吸収分光分析」という技術が用いられます。これは、水や薬液に光を照射し、物質の種類や構造によって固有の波長で光が吸収される特性を利用したものです。この方法により、薬液の濃度を正確に測定することが可能です。

よくある質問

半導体製造における薬液の重要性は何ですか？

薬液は半導体の製造過程で不可欠な役割を果たします。特に洗浄やエッチング工程での精度向上に寄与しています。

なぜ一度に複数の薬液を使用できないのですか？

異なる薬液が混ざると、化学反応が予期せぬ結果をもたらす可能性があるため、安全性と精度を保つために一度に一種類の薬液を使用します。

ロトモールド成形のメリットは何ですか？

ロトモールド成形により、溶接レスで漏れのリスクがなく、高純度の薬液を安全に供給することができます。

花王の洗浄剤が選ばれる理由は？

花王の洗浄剤は、半導体製造における精度と効率を大幅に向上させるため、多くのメーカーから信頼されています。

吸収分光分析の利点は何ですか？

吸収分光分析は非破壊的で正確な濃度測定を可能にし、薬液の品質管理において重要な役割を担います。

半導体製造での純水の役割は？

純水は薬液洗浄後のリンスに使用され、薬液の残留を除去し、ウェハ表面をクリーンに保ちます。